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摘要

电化学沉积技术（简称：电沉积）是用以制备金属基镀层和加工制造金属结

构和零件的常见方法之一，广泛应用于半导体互连金属微细结构、金属功能薄膜、

微细金属零件等场合。提高电沉积层/件厚度均匀性、提升金属材料性能是电沉积

领域永恒的研究主题和追求。为更均厚高精地电沉积制备高表面质量、高性能的

平面金属层，本文提出了线阳极贴近阴极旋转扫描电沉积技术。在新技术中，通

过合理排布的线阳极向阴极局区赋能极高的电流密度以实现超细晶粒的电沉积，

通过安设线阳极的载盘与阴极之间的旋转运动实现电场的均匀分布。