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文档摘要

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快速退火对AZO透明导电薄膜特性的多维度影响研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，透明导电薄膜作为一类关键的功能材料，在众多领域中发挥着不可或缺的作用。其中，掺铝氧化锌（AZO）透明导电薄膜凭借其出色的综合性能，展现出了极为广阔的应用前景。

AZO薄膜属于透明导电氧化物薄膜（TCO薄膜），具有独特的晶体结构，通常为六角纤锌矿结构。这种结构赋予了它一系列优异的性能，使其在众多领域得到广泛应用。在平板显示领域，如液晶显示器（LCD）、有机发光二极管显示器（OLED）等，AZO薄膜被用作透明导电电极。以LCD为例，AZO薄膜能够实现良好的导电性，确保电子的顺