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文档摘要

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基于耦合模理论的微环谐振器模型：构建、特性与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，微电子机械系统（MEMS）作为多学科交叉的前沿领域，涵盖了电子学、机械学、材料学、物理学等多个学科，已经成为现代科技领域中不可或缺的一部分。其中，微谐振器作为MEMS器件的关键组成部分，在众多领域发挥着至关重要的作用。它的主要应用包括频率选择性滤波器、振荡器、传感器等，是实现各种复杂功能的基础元件。在微机电系统和集成电路中，微环谐振器和微梁谐振器是最常用的微谐振器类型。微环谐振器凭借其尺寸小、频率稳定性好、低损耗等显著优势，被广泛应用于钟表、通讯系统、传感器等领域，成为研究的焦