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文件名称：2025年化合物半导体的外延生长设备项目建议书.docx
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总页数：92 页
更新时间：2025-09-30
总字数：约4.47万字
文档摘要
化合物半导体的外延生长设备项目建议书
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化合物半导体的外延生长设备项目建议书
目录
TOC\o1-9概论 4
一、工艺先进性 4
(一)、化合物半导体的外延生长设备项目建设期的原辅材料保障 4
(二)、化合物半导体的外延生长设备项目运营期的原辅材料采购与管理 5
(三)、技术管理的独特特色 7
(四)、化合物半导体的外延生长设备项目工艺技术设计方案 9
(五)、设备选型的智能化方案 10
二、化合物半导体的外延生长设备项目建设地分析 11
(一)、化合物半导体的外延生长设备项目选址原则 11
(二)、化合物半导体的外延生长设备项目选址