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摘要

随着现代社会经济和工业的迅速发展，大量生活和工业废气被排放到环境中。

为了实现国家在十四五时期提出的绿色低碳，节能减排目标，精准检测空气环境

中的工业废气就显得迫在眉睫。金属氧化物半导体（MOS）由于其灵敏度高、成

本低及工作稳定等特点引起科研工作者的关注。ZnO是一种典型的n型金属氧化

物半导体，它作为气体传感器的气敏材料广泛应用于各种气体的检测。

磁控溅射技术制备ZnO薄膜具有薄膜厚度精确可控、适合批量生产、成本较

低的特点，但是也存在薄膜结构致密、比表面积低的缺点，导