基本信息
文件名称：刻蚀2优质精选文档.ppt
文件大小：557 KB
总页数：17 页
更新时间：2025-10-06
总字数：约2.77千字
文档摘要
刻蚀中的化学2010.5.6湿法刻蚀——采用液态的化学腐蚀液去除材料。利用溶液与预刻蚀材料之间的化学反应来去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分。副产物是气体、液体或可溶于刻蚀溶液的固体。三个基本工艺过程：腐蚀（EtchantSink）清洗（DIWaterRinse）旋转甩干（Spindryer硅的腐蚀