双光路扫描式微型机构三维测量系统：原理、设计与应用研究

一、绪论

1.1研究背景与意义

随着科学技术的飞速发展，微型化已成为近代工业发展的显著趋势。特别是微机电系统（MEMS）等微细加工技术的不断进步，使得微型机构在众多领域得到了广泛应用。在航空航天领域，微型机构被用于制造小型化、轻量化的传感器和执行器，以满足飞行器对设备体积和重量的严格要求，从而提高飞行器的性能和效率；在生物医学领域，微型机构可用于制造微型医疗器械，如微型手术器械、生物传感器等，实现对人体微观结构和生理参数的精确检测与治疗，为疾病的早期诊断和个性化治疗提供了新的手段；在电子设备中，微型机构作为关键部件，有助于实现设备的小