基本信息

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文档摘要

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磁控溅射法制备氧化锌铝薄膜的性能与工艺优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，透明导电薄膜在众多领域得到了广泛应用，成为现代材料科学研究的热点之一。氧化锌铝（ZAO）薄膜作为一种重要的透明导电薄膜，凭借其独特的性能优势，在太阳能电池、平板显示、光电传感器等领域展现出了巨大的应用潜力。

在太阳能电池领域，提高光电转换效率是关键目标。ZAO薄膜具有高透过率和低电阻率的特性，使其成为太阳能电池透明电极的理想材料。高透过率能够确保更多的太阳光进入电池内部，被吸收层充分吸收，从而增加光生载流子的产生；低电阻率则有助于减少电池内部的电阻损耗，提高载流子的传输效率，进而提升太阳能电