超分辨重建方法赋能STXM图像处理：技术革新与应用拓展

一、引言

1.1研究背景与意义

在科学研究与工业应用的众多前沿领域，对微观世界的深入探索始终是推动技术进步与理论突破的关键驱动力。扫描透射X射线显微镜（ScanningTransmissionX-rayMicroscopy，STXM）作为一种极具潜力的微观分析技术，凭借其独特的成像原理和分析能力，在材料科学、生命科学、环境科学等多个重要领域中发挥着不可或缺的作用。

在材料科学领域，STXM能够实现对材料微观结构的高分辨率成像。以新型半导体材料为例，通过STXM可以清晰观察到材料中原子的排列方式、晶格缺陷以及杂质的分布