深亚微米纳米集成电路互连线寄生电容：精确提取与敏感度深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技发展的浪潮中，集成电路技术作为信息技术产业的核心，正以惊人的速度持续演进。自20世纪中叶集成电路诞生以来，其发展遵循着摩尔定律，即集成电路上可容纳的晶体管数目，约每隔18个月便会增加一倍，性能也将提升一倍。在这一规律的驱动下，芯片尺寸不断缩小，集成度持续提高，如今已迈入深亚微米乃至纳米尺度。这种发展趋势使得集成电路在更小的面积上实现了更强大的功能，广泛应用于计算机、通信、消费电子、汽车电子等众多领域，深刻改变了人们的生活和工作方式。

然而，随着集成电路进入深亚微米纳米尺度，互连线