基本信息

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文档摘要

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晶圆检测系统中缺陷检测算法的深度设计与高效实现

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，半导体产业作为信息技术的核心与基石，已然成为全球经济竞争的战略制高点。从日常生活中的智能手机、电脑，到关乎国家安全的航空航天、军事国防领域，半导体技术无处不在，它的发展水平直接影响着一个国家的科技实力和综合国力。在半导体制造的复杂流程中，晶圆作为制造集成电路的核心材料，其质量对于集成电路的性能、可靠性和成品率起着决定性作用。

晶圆是通过一系列精密工艺从高纯度硅材料中加工而成的圆形薄片，犹如一块承载着微观世界奥秘的“硅基画布”，后续的光刻、蚀刻、沉积等关键工序将在其上构建出极其微小且复杂