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文档摘要

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基于五角棱镜的滚转角误差测量方法：原理、优化与实践

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业领域，高精度的测量技术对于保障产品质量、提升生产效率起着举足轻重的作用。滚转角误差作为衡量物体运动姿态准确性的关键指标之一，其测量精度直接关系到诸多工业设备的性能表现。在精密机床加工过程中，工作台的滚转角误差会导致刀具与工件之间的相对位置偏差，进而影响加工零件的尺寸精度、形状精度以及表面粗糙度。例如，在航空航天零部件的精密加工中，微小的滚转角误差都可能使零件的性能大打折扣，甚至影响整个飞行器的飞行安全。在半导体制造设备中，晶圆载物台的滚转角误差若不能精确控制，会导致光刻图案的对准偏差，降低芯片的良