基本信息
文件名称：超纯氨杂质深度解析.pptx
文件大小：15.06 MB
总页数：29 页
更新时间：2025-10-10
总字数：约4.59千字
文档摘要
超纯氨杂质深度解析汇报人:56项关键指标检测与应用研究LOGO
目录CONTENTS超纯氨概述01杂质分析重要性02主要杂质类型03分析方法04检测流程05质量控制06行业挑战07
01超纯氨概述
定义与特性超纯氨的基本定义超纯氨是一种纯度高达99.999%以上的高纯气体，主要用于半导体、光伏等高科技领域，确保工艺零污染。超纯氨的物理特性超纯氨在常温下为无色气体，具有刺激性气味，易溶于水，沸点为-33.34℃，需高压储存。超纯氨的化学特性超纯氨化学性质活泼，能与酸反应生成铵盐，高温下可分解为氮气和氢气，需避免接触氧化剂。超纯氨的核心应用场景超纯氨是半导体制造中氮化硅薄膜的关键原料，也用于LE