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集成电路制造过程中的虚拟仿真教学创新路径

引言

基础课程是培养学生理论素养的重要途径，专业课程则是学生掌握集成电路制造技术的关键。课程体系要根据学生的学习进程，从基础到专业逐步推进。在基础课程方面，学生需要掌握电路基础、电子学原理、材料力学等相关学科的基础知识，为后续专业课程的学习打下坚实的理论基础。在专业课程方面，除了讲授集成电路设计、工艺流程等核心内容外，还要加入新兴技术，如纳米技术、微机电系统等，确保学生能够掌握最新的制造技术。

传统的集成电路制造教育模式多侧重理论知识的传授，实践教学环节不足，且课程内容较为抽象，缺乏与行业实际需求的紧密