扫描探针显微镜在阳极氧化加工及套刻对准中的关键技术与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

1.1.1背景阐述

在当今科技飞速发展的时代，微纳加工技术作为现代制造业的关键支撑，正逐渐成为推动各领域创新的核心力量。从电子信息、生物医学到航空航天等诸多行业，微纳加工技术的应用无处不在，其重要性不言而喻。它不仅能够实现微小尺寸结构的精确制造，还为新型材料和器件的研发提供了强有力的手段，极大地拓展了人类对微观世界的掌控能力。随着对产品性能和功能要求的不断提高，微纳加工技术也在持续演进，以满足日益增长的高精度、高集成度需求。

阳极氧化加工作为微纳加工技术中的重要分支，在金属表面处理领域发挥着举足轻