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文档摘要

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光学元件表面疵病检测扫描拼接误差的深度剖析与优化策略

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技迅猛发展的浪潮中，光学元件作为光学系统的基石，广泛且深入地融入到众多关键领域，从高端的航空航天、精密的半导体制造，到前沿的生物医学、高速的光通信以及智能的机器视觉等，均发挥着无可替代的核心作用。光学元件的表面质量，犹如大厦的基石，是决定其在各类应用中性能优劣的关键因素。任何表面疵病，诸如微小的划痕、不易察觉的麻点、细微的裂纹或者杂质颗粒等，都可能如同“蝴蝶效应”一般，在光学系统的运行中引发一系列严重问题。

从光学原理角度剖析，这些疵病会导致光的散射、衍射现象异常，进而使光束的质量大幅下降。在高