纳米技术一维纳米材料基本结构表征高分辨透射电子显微镜法修订项目发展报告

摘要

本报告旨在阐述修订GB/Z21738-2008《一维纳米材料的基本结构高分辨透射电子显微镜检测方法》的目的、意义、范围和主要技术内容。随着一维纳米材料在半导体、集成电路等领域的广泛应用，传统透射电子显微镜（TEM）样品制备方法如离子溅射减薄已难以满足现代纳米材料表征的精确需求。聚焦离子束/扫描电镜（FIB/SEM）双束显微镜技术的兴起，为TEM样品制备提供了高精度、无污染的解决方案。然而，现有标准在技术指标和制样方法上存在滞后，亟需更新以纳入FIB/SEM方法、优化仪器参数，并增加典型测试案例。本次修订将提升标准