基于CMOS-MEMS的集成热电堆真空传感器：技术、性能与应用前景探究

一、引言

1.1研究背景与意义

1.1.1真空传感器发展概述

真空传感器作为测量真空度或与真空相关物理量的关键设备，在现代科技与工业领域扮演着不可或缺的角色。从基础科研到高端制造，从航空航天到电子信息，诸多行业的发展都依赖于精确的真空测量。在半导体制造过程中，需要严格控制真空环境以确保芯片制造的精度和质量；在科学研究中，如粒子加速器实验，精确的真空度监测是保证实验顺利进行的基础。

真空传感器的发展经历了漫长的历程。早期的真空传感器基于简单的物理原理，结构较为粗糙，精度也相对有限。随着科学技术的不断进步，各类新型真空