基本信息

---

下载

文档摘要

---

宏微二维位移台：原理、技术与应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技迅猛发展的浪潮下，诸多领域对高精度、大行程的位移控制提出了严苛要求。宏微二维位移台作为一种能够实现高精度、大行程位移的关键设备，融合了宏动机构的大行程特性与微动机构的高精度优势，在超精密加工、生物医学工程、微机电系统、精密光学工程等领域发挥着举足轻重的作用。

在超精密加工领域，随着产品微型化和精细化的发展趋势，对加工精度的要求已达到亚微米甚至纳米级。宏微二维位移台能够精确控制刀具或工件的位置，实现复杂曲面的超精密加工，极大地提高了加工精度和表面质量，为制造高精度的光学元件、集成电路芯片等提供了有力支持。例如