ELID磨削砂轮表面氧化膜厚度在线检测技术的研究与实践

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代制造业中，超精密加工技术的发展对于提升产品性能、精度和质量起着关键作用。ELID（ElectrolyticIn-ProcessDressing）磨削技术作为一种先进的超精密磨削技术，近年来在航空、航天、光学、半导体等众多领域得到了广泛应用。

在航空航天领域，随着飞行器性能要求的不断提高，对其零部件的精度和表面质量提出了严苛的标准。例如，航空发动机的叶片、涡轮盘等关键部件，它们在高温、高压和高转速的恶劣环境下工作，需要具备极高的尺寸精度、表面光洁度和疲劳强度。ELID磨削技术能够实现对这些硬脆材