基于序优化与响应曲面法的半导体晶圆制造系统多目标调度策略研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技高速发展的浪潮中，半导体产业作为国家高新技术产业的核心组成部分，正深刻地改变着人们的生活和推动着社会的进步。从智能手机、电脑到汽车电子、人工智能设备，半导体芯片无处不在，成为支撑现代电子设备运行的关键。据市场研究机构的数据显示，近年来全球半导体市场规模持续增长，2024年全球半导体销售额达到了[X]亿美元，预计到2028年将突破[X]亿美元，年复合增长率超过[X]%。这一增长趋势不仅反映了半导体产业在经济发展中的重要地位，也凸显了其在技术创新和市场需求驱动下的强大活力。

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