基本信息

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文档摘要

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ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

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GBT460572025ISO214662019

微束分析扫描电子显微术

CD-SEM评定关键尺寸的方法

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MicrobeamanalsisScanninelectronmicrosco

ygpy

MethodforevaluatincriticaldimensionsbCD-SEM

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(:,)

ISO214662019IDT

2025-08-29发布2026-03-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT460572025ISO214662019

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4缩略语……………………8

模型数据库()………………………

5MBL8

5.1MBL模拟器的基本概念……………8

5.2试样模型……………12

5.3MC模拟……………14

5.4MBL文件结构……………………15

6获取CD-SEM图像……………………23

6.1采集图像要求………………………23

6.2试样倾斜……………23

6.3图像质量……………23

6.4视野选择……………23

6.5CD-SEM图像数据文件……………………