基本信息
文件名称：一种用于检测半导体器件硬缺陷故障点的定位装置及方法.pdf
文件大小：219.67 KB
总页数：48 页
更新时间：2025-10-13
总字数：约3.6万字
文档摘要
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)(12)发明专利说明书
(10)申请公布号CN113466650A
(43)申请公布日2021.10.01
(21)申请号CN202110761209.X
(22)申请日2021.07.06
(71)申请人中国科学院国家空间科学中心
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