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文件名称:emmi失效分析的原理.pdf
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总页数:4 页
更新时间:2025-10-13
总字数:约2.69千字
文档摘要

emmiemmi失效分析的原理失效分析的原理

失效分析对半导体行业至关重要,EMMI

号转换为可见图像,直接显示失效点位置。

EMMI

置对应滤波器。

统方法需逐层去封装排查,EMMI在通电状态下直接锁定漏电区域位于PMOSPMOS管栅极边缘,后续FIB

切片验证栅氧存在针孔缺陷。实验室数据显示,EMMI将失效定位时间从48小时缩短至3小时。

根据器件参数施加反向偏压或工作电压,电流控制在μA至mAmA级;开启冷却型CCD

信号,积分时间通常为30-300