基于模糊图像相关的MEMS面内微运动测量方法：原理、应用与优化

一、引言

1.1研究背景与意义

微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）作为在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的新兴学科，以微电子及机械加工技术为依托，范围涉及微电子学、机械学、力学、自动控制学、材料科学等多种工程技术和学科。自20世纪中叶起源以来，MEMS技术取得了飞速的发展，从最初简单的硅传感器研究，逐步发展到如今集微型传感器、微型执行器、信号处理与控制电路、电源以及通信接口等为一体的复杂微型器件或系统，已然成为了现代科技领域中的关键支撑技术之一。

随着科技的不断进