融合UV-LIGA与微细电火花加工：三维金属微结构制造新路径

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，微机电系统（MEMS）、电子、光学、生物医疗等众多领域对三维金属微结构的需求日益增长。三维金属微结构，作为一种具有复杂形状、高精度和微米尺度的金属结构，与传统的二维平面结构相比，拥有更多的自由度和灵活性，能够实现更为复杂的功能，在各个领域中展现出独特的优势和巨大的应用潜力。

在微机电系统领域，三维金属微结构是构建高性能微传感器、微执行器等器件的关键基础。例如，微加速度计作为MEMS的典型代表，其核心部件常常需要三维金属微结构来实现高精度的加速度检测功能。通过精心设计和