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文档摘要

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扫描电子显微镜知识A—Z/SEM的构造

SEI模式和LEI模式分别叫高位二次电子和低位二次电子，一般LEI模式建议5千倍以下用，立体感较强，SEI模式分辨率较高，拍高倍数时用

扫描电子显微镜（ScanningElectronMicroscope：SEM）是观察样品表面的装置。用很细的电子束（称为电子探针）照射样品时，从样品表面会激发二次电子，在电子探针进行二维扫描时，通过检测二次电子形成一幅图像，就能够观察样品的表面形貌。

SEM的构造

装置的结构

SEM由形成电子探针的电子光学系统、装载样品用的样品台、检测二次电子的二次电子检测器、观察图像的显示系统及进行各种操作的操作系统等构成（图