基本信息

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文档摘要

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MEMS微镜动态性能的多维度剖析与精准控制策略研究

一、绪论

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机电系统（MEMS）技术在众多领域得到了广泛应用。MEMS微镜作为MEMS技术中的关键光学器件，以其体积小、重量轻、功耗低、响应速度快、易于集成等显著优势，成为现代光学系统中不可或缺的重要组成部分。

在激光雷达领域，MEMS微镜被广泛应用于光束扫描。通过精确控制MEMS微镜的角度，能够快速、准确地改变激光束的传播方向，实现对周围环境的高精度三维扫描成像。在自动驾驶场景中，激光雷达利用MEMS微镜快速扫描周围环境，获取车辆周围物体的距离、速度等信息，为自动驾驶系统提供关键数