金属掺杂对氮化钨薄膜性能调控的深入探究：制备、特性与应用前景

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，材料科学作为众多领域的基础，不断面临着新的挑战与机遇。在各类材料中，薄膜材料因其独特的性能和广泛的应用前景，成为了研究的热点之一。氮化钨（W_xN_y）薄膜作为一种重要的过渡金属氮化物薄膜，近年来在诸多领域展现出了巨大的应用潜力，引起了科研人员的广泛关注。

氮化钨薄膜具有一系列优异的性能，使其在众多领域得以广泛应用。在机械领域，氮化钨薄膜凭借其高硬度、良好的耐磨性和抗腐蚀性，成为理想的表面保护涂层材料。例如，在航空航天领域，发动机零部件面临着高温、高压以及强烈的机械摩擦等恶劣