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文件名称：熔石英元件CO2激光抛光作用机理及残余应力抑制方法研究.pdf
文件大小：6.6 MB
总页数：103 页
更新时间：2025-10-15
总字数：约18.52万字
文档摘要
摘要
熔石英光学元件因其优越的物理化学性质和良好的透光性而被广泛应
用于高功率固体激光装置中，而传统机械加工手段引入的表层缺陷会严重降
低其激光损伤阈值，限制了高功率固体激光装置的运行通量。CO2激光抛光
技术作为一种新的非接触式加工手段，可实现熔石英元件的表面无缺陷抛光，
进而大幅提升其激光损伤阈值。但CO2激光与熔石英材料相互作用的不稳定
性带来的非均匀表面改性和较大的残余应力严重影响了熔石英光学元件的
使用寿命，同时其