基本信息
文件名称:DB63T 2467-2025 多晶硅制造装置基于风险的评价与检验技术规范.docx
文件大小:165.46 KB
总页数:14 页
更新时间:2025-10-15
总字数:约8.48千字
文档摘要
ICS71.020CCS
ICS
71.020
CCS
J74
青 海 省 地 方 标 准
DB63/T2467—2025
多晶硅制造装置基于风险的评价与检验技术规范
2025-09-24发布 2025-11-01实施
青海省市场监督管理局 发布
DB63/T2467
DB63/T2467—2025
PAGE\*ROMAN
PAGE\*ROMANII
目 次
前 言 II
范围 1
规范性引用文件 1
术语和定义 1
装置损伤分布 2
关键设备主要损伤及部位 4
风险评估过程及要求 4
基于风险的检验策略