基本信息
文件名称:DB63T 2467-2025 多晶硅制造装置基于风险的评价与检验技术规范.docx
文件大小:165.46 KB
总页数:14 页
更新时间:2025-10-15
总字数:约8.48千字
文档摘要

ICS71.020CCS

ICS

71.020

CCS

J74

青 海 省 地 方 标 准

DB63/T2467—2025

多晶硅制造装置基于风险的评价与检验技术规范

2025-09-24发布 2025-11-01实施

青海省市场监督管理局 发布

DB63/T2467

DB63/T2467—2025

PAGE\*ROMAN

PAGE\*ROMANII

目 次

前 言 II

范围 1

规范性引用文件 1

术语和定义 1

装置损伤分布 2

关键设备主要损伤及部位 4

风险评估过程及要求 4

基于风险的检验策略