电子级二氯硅烷在半导体制造领域需求旺盛本土企业正在积极推进相关产能建设

二氯硅烷，又称二氯甲硅烷，化学式为SiH?Cl?，是一种无机化合物。电子级二氯硅烷为二氯硅烷代表产品，其外观呈无色气体，具备纯度高、耐高/低温等特点，在半导体制造领域需求旺盛。

?????电子级二氯硅烷制备方法包括氢化法、歧化法、氯化法三种。氢化法指以四氯化硅为原材料，在高温状态下经过氢化反应制得成品，该法可用于制备纯度在99.9％以上的电子级二氯硅烷；歧化法为电子级二氯硅烷传统制备方法，该法通常以三氯氢硅为原材料，加入催化剂，经歧化反应制得成品；氯化法存在成品收率低、成品质量差等问题，目前尚未实现规模化应用。