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摘要

熔石英光学元件经过磨削、抛光加工后其表面极易产生大量凹坑、裂纹等微

缺陷，导致在高能激光辐照下光学元件整体抗激光损伤能力急剧降低。在光学元

件缺陷表征检测技术方面，其在表征范围、工作机理、检测效率等多方面仍存在

技术瓶颈。本文基于光学元件荧光检测原理，设计搭建了光学元件荧光检测系统，

并以此研究熔石英元件磨抛表面微缺陷瞬稳态荧光特性，揭示了点缺陷浓度比例、

荧光寿命以及抗激光损伤能力的关联关系，进行了荧光检测成像系统软件的设计

开发，可用于指导光学元件表面预处理和损伤修复等加工工艺优化。