基本信息
文件名称：光学镜片亚表面缺陷在线检测光学相干法.docx
文件大小：223.93 KB
总页数：14 页
更新时间：2025-10-15
总字数：约5.77千字
文档摘要
T/XXXXXXX—XXXX
1
光学镜片亚表面缺陷检测光学相干法
1范围
本文件规定了采用光学相干法检测光学镜片亚表面缺陷的检测原理、检测装置、检测记录及检测报告。
本文件适用于用光学相干法进行光学镜片的亚表面缺陷检测。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本
文件。
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