基本信息
文件名称:表面化学分析 X射线光电子能谱仪检定方法及编制说明.pdf
文件大小:1.17 MB
总页数:33 页
更新时间:2025-10-15
总字数:约5.34万字
文档摘要

《表面化学分析X射线光电子能谱仪

检定方法》

国家标准

征求意见稿编制说明

厦门佳集悦网络技术有限公司、厦门大学、中国科学院化学研究所、

北京大学、北京师范大学、中山大学

2025年9月12日

一、工作简况

表面分析是半导体器件、新材料、新能源和生医技术等战略性新兴产业的重要支撑。

XPS(X