基本信息
文件名称：半导体晶片近边缘几何形态评价 第3部分：扇形区域平整度法(ESFQR、ESFQD、ESBIR）及编制说明.pdf
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更新时间：2025-10-15
总字数：约1.53万字
文档摘要
国家标准
半导体晶片近边缘几何形态评价
第3部分：扇形区域平整度法（ESFQR、
ESFQD、ESBIR)
编制说明
（征求意见稿）
山东有研半导体材料有限公司
二〇二五年七月