硅基周期波导微腔集成光器件：原理、设计与应用的深度探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息技术的飞速发展，人们对数据传输和处理的速度、容量以及效率提出了越来越高的要求。在这一背景下，光电子技术作为现代信息技术的重要支撑，得到了广泛的关注和深入的研究。硅基周期波导微腔集成光器件作为光电子领域的关键组成部分，因其独特的光学特性和潜在的应用价值，成为了研究的热点之一。

硅基材料由于其优越的半导体特性和稳定、成熟的制备工艺，是集成电路中运用最多的材料。硅材料在近红外通信波段透明、折射率对比度高，适合光子器件的高密度集成。并且其制作工艺与传统的微电子工艺兼容，可以与集成电路相集成，大幅提高光电