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半导体设备国产化2025年技术创新与产业升级路径研究

一、半导体设备国产化2025年技术创新与产业升级路径研究

1.1.技术创新背景

1.1.1技术创新是推动半导体设备产业发展的核心

1.1.2技术创新有助于降低我国对进口设备的依赖

1.1.3技术创新有助于推动产业升级

1.2.技术创新现状

1.2.1我国半导体设备产业在技术水平上与国外先进水平存在一定差距

1.2.2我国半导体设备产业链仍不完善

1.2.3我国半导体设备产业在研发投入、人才培养等方面与国外先进水平相比仍有较大差距

1.3.技术创新方向

1.3.1加大研发投入，提高自主创新能力

1.3.2加强产业链协同创