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TOPCon太阳能电池载流子输运理论模拟

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在TOPCon（隧穿氧化物钝化接触）太阳能电池或POLO结（由超薄氧化硅层的

晶体硅衬底和重掺杂多晶硅层所组成）载流子输运过程中，直接隧穿和针孔传输是两

种备受关注的机制。然而，电池制造过程中的高温烧结工序不仅可能导致超薄氧化硅

层产生针孔，还可能伴随大量缺陷的出现，这些缺陷有助于载流子通过缺陷辅助隧穿

来传输。另一方面，高温处理过程中，掺杂原子会穿越氧化层进入硅片，形成一个近

表面重掺杂区。然而，该区域对载