直流阴极弧蒸发沉积：掺杂TiO?薄膜的制备、结构与性能探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学不断发展的进程中，功能性薄膜材料因其独特的物理化学性质和广泛的应用前景，一直是研究的重点领域之一。TiO?薄膜作为一种重要的半导体材料，以其化学性质稳定、光催化活性高、抗腐蚀能力强以及成本低廉等诸多优势，在能源、环境、电子等众多领域展现出巨大的应用潜力。例如，在能源领域，TiO?薄膜被广泛应用于染料敏化太阳能电池，作为光阳极材料，其能够有效地吸收光能并将其转化为电能，为解决能源危机提供了新的途径；在环境领域，TiO?薄膜的光催化性能可用于降解有机污染物、净化空气和水，有助于缓解日益严重的环境