晶圆级可靠性测试系统CWBS10001ZONE

该系统适用于6/8寸晶圆级器件的可控高温的带电可靠性测试，基于JEDEC可靠性测试标准设计；

提供高精度高电压输出，保存并且长期记录高精度电流，可控温度等参数，并根据记录测试数

据，导出实验表格及MAP图多格式选择。

定制化高温调节半自动探针台，支持≤5片晶圆同时老化测试

支持每个晶圆Die独立保护功能，对过流过压进行越限控制

支持氮气保护防止晶圆氧化,充气时支持过压保护

支持更换老化板或探针卡不同封装器件进行测试