基本信息

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文档摘要

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安徽省真空计量站建设的实践与宽量真空计研制的创新探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技与工业飞速发展的时代，真空技术作为一项关键基础技术，广泛应用于众多领域，如半导体制造、航空航天、材料科学、高能物理研究等。在半导体制造中，高精度的真空环境是确保芯片制造工艺精度和产品质量的关键，微小的气体杂质都可能导致芯片性能下降甚至报废。航空航天领域，航天器在高真空的宇宙环境中运行，对真空测量和控制的准确性要求极高，直接关系到航天器的安全与任务成败。材料科学研究中，真空环境有助于制备高纯度、高性能的材料，探索材料在极端条件下的特性。高能物理实验则依赖超高真空环境来实现粒子的加速和对撞，以揭示