基本信息

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文档摘要

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蓝宝石衬底上氮化铪薄膜的制备工艺与性能调控研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代材料科学与技术的快速发展进程中，新型薄膜材料的研发及应用始终是学术界和产业界关注的焦点。氮化铪（HfN）薄膜作为一种极具潜力的ⅣB族过渡金属氮化物，凭借其自身众多卓越的性能，在多个关键领域展现出了广阔的应用前景。

从性能层面来看，氮化铪薄膜具有良好的导电性，这使其在电子器件的电极材料等方面具备潜在应用价值，能够有效保障电子的高效传输，降低电阻损耗。在光学领域，其在可见光和红外波段均呈现出很高的反射率，这种优异的光学特性使其可用于制造高性能的反射镜、光电器件中的反射层等，比如在某些需要高反射率以增强光