高性能BaSnxTi1-xO3薄膜的制备工艺与压电性能调控研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代电子器件飞速发展的进程中，压电材料凭借其独特的机电转换特性，成为了实现机械能与电能相互转换的关键功能材料，在众多领域中发挥着不可或缺的作用。从日常的电子设备，如手机、电脑中的传感器，到高端的航空航天、生物医疗等领域，压电材料的身影无处不在。在卫星广播系统里，压电滤波器确保了信号的稳定传输；在医学影像仪中，压电传感器能够精准地捕捉人体内部的细微结构信息，为疾病的诊断提供了重要依据。随着电子工业朝着小型化、集成化、高性能化的方向不断迈进，对压电材料的性能提出了更为严苛的要求。研发高性能的压电材料