铜铬共掺杂类金刚石碳基薄膜：制备工艺、微观结构与性能关联的深度剖析

一、引言

1.1研究背景

类金刚石碳基薄膜（DLC）作为一种亚稳态的非晶碳材料，自20世纪70年代被发现以来，在材料科学领域引起了广泛关注。其独特的结构，碳原子以sp2和sp3杂化键的形式共存，赋予了它一系列优异的特性。在硬度方面，DLC薄膜可达到天然金刚石硬度的20%-80%，显著提升了材料的耐磨性，在机械加工、航空航天等领域有着重要应用。例如，在航空发动机的叶片表面涂覆DLC薄膜，可有效减少叶片在高速旋转过程中与空气、颗粒等物质的摩擦磨损，延长叶片使用寿命。在电子领域，DLC薄膜的高电阻率使