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文档摘要

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集成电路失效模式分析

一、集成电路失效模式的类型

（一）开路失效

开路失效是集成电路中比较常见的一种失效模式。比如说，芯片内

部的金属连线可能会因为各种原因断开。这就好比一条道路被堵住了，

电流无法正常通过。造成开路失效的原因有很多，像在芯片制造过程

中，金属沉积不均匀，就可能导致局部金属连线过薄，在后续的使用

中容易断开。还有，芯片在经历高温、高湿度等恶劣环境时，金属连

线可能会发生腐蚀，从而引发开路。开路失效会使集成电路所在的电

路无法正常工作，比如一个由集成电路组成的放大器，出现开路失效

后，可能就无