加速计嵌入式激光自混合干涉位移补偿技术：原理、应用与优化

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业生产与科学研究中，位移测量作为一项关键技术，对产品质量把控、精密制造推进以及科学实验的精准开展起着不可或缺的作用。从电子芯片制造时对微小元件的精确定位，到航空航天领域飞行器零部件的高精度装配，再到生物医学中细胞微观位移的观测，位移测量的精度与可靠性直接影响着各领域的发展水平。

激光自混合干涉位移测量技术，作为光学测量领域的重要研究方向，近年来备受关注。自1963年King首次观察到激光自混合干涉现象以来，该技术凭借独特的测量原理与显著优势，在位移测量领域展现出巨大潜力。与传统干涉测量