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文档摘要

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质量流量控制器主要是由传感器、电路板和驱动阀三大部分组成。是能够对气体流量做精密测量和控制的一种仪器。主要使用在半导体工业和平面显示器制造和太阳能电子方面。质量流量：质量流量控制器感测的是通过的气体的分子量，工作时不受外界的温度和压力的影响。CONTROLELECTRONICS(P-I-D)SIGNALPROCESSING电源:+/-15VDC设定信号:0?5V输出信号:0?5V进气端出气端什么是质量流量控制器

阀驱动传感器控制阀侧流管MFC的内部结构图

传感器的结构热传感器TuTuTdTd△T.根据传感器的结构，当没有气体流入时，传感器两边的温度呈抛物线状均匀