先进EFA电性失效分析定位技术及其PFA物理验证技术研究

1.引言

1.1研究背景与行业现状

随着半导体器件特征尺寸持续微缩至纳米级别，集成电路的复杂性与集成度呈

现指数级增长态势，由此引发的失效模式也愈发隐蔽且多元。全球半导体产业报告

显示，先进制程节点下的芯片失效分析周期平均延长40%，分析成本增加超过

60%。传统故障定位手段在应对多层堆叠结构、低k介质材料及高密度互连等新型