多弧离子镀TiSiC涂层：结构特征与摩擦学行为的深度解析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业中，材料表面的性能对于材料的整体性能起着至关重要的作用。随着工业的快速发展，对材料表面的硬度、耐磨性、耐腐蚀性等性能提出了越来越高的要求。多弧离子镀技术作为一种重要的表面涂层技术，因其能够在材料表面制备出具有优异性能的涂层，而受到了广泛的关注。多弧离子镀技术是在真空条件下，通过弧光放电使金属靶材蒸发并电离，产生的金属离子在电场的作用下加速沉积到基体表面，形成涂层。该技术具有离化率高、涂层附着力强、致密性好等优点，能够有效改善材料的表面性能。

TiSiC涂层作为一种新型的涂层材料，结合了Ti